В процеса на плазмено-химично отлагане от газова фаза (PECVD), всяка електрическа връзка, от предаването на радиочестотна енергия до контрола на технологичния газ, пряко влияе върху равномерността на отлагането на тънък слой и добива на чип. Изправени пред суровата среда на миниатюрно оборудване, висок вакуум и силни електромагнитни смущения,WAGOКонекторите picoMAX®, с трите си основни предимства „компактност, надеждност и ефективност“, са се превърнали в идеалното решение за свързване за PECVD системи.
Иновативен компактен дизайн
Адаптиране към оформлението на прецизните камери
Вътрешното пространство на PECVD оборудването е ограничено, което изисква плътно разположение на захранващи, сигнални и сензорни линии около реакционната камера. picoMAX® използва еднопружинен, двойнодействащ дизайн с множество налични стъпки между пиновете от 3,5/5,0/7,5 мм. След свързване, той заема 30% по-малко място от предишните продукти, като се адаптира перфектно към изискванията за окабеляване около камерата. Неговият конектор тип „отвор“ е почти изцяло вграден в пиновата част, което поддържа сглобяване един до друг без загуба на полюси, значително подобрявайки използването на печатната платка и позволявайки организирано разположение на сигналните и захранващите линии, без да се нарушава полето на потока на технологичния газ.
Надеждна защита срещу екстремни условия на работа
PECVD процесите включват среда с висок вакуум, високочестотна плазма и вибрации, което поставя строги изисквания към надеждността на конекторите. picoMAX® се отличава със стабилна структура с устойчивост на вибрации до 12g, предотвратявайки разхлабването на връзката, причинено от високочестотни вибрации. Той също така включва конструкция против неправилно поставяне и заключващо устройство, елиминирайки грешки при монтажа и предотвратявайки случайно разкачане, осигурявайки непрекъсната работа на оборудването без прекъсване.
Бързо свързване без инструменти
picoMAX® разполага с технология за бързо свързване без инструменти, позволяваща връзки „plug-and-hold“ както за едножилни, така и за многожилни проводници със студено пресовани конектори. Сложните кабелни връзки се извършват в една стъпка, което значително подобрява ефективността на сглобяване и скъсява циклите на отстраняване на грешки. Модулният дизайн е съвместим с процесите на спояване с повторно заваряване, отговаряйки на нуждите за намаляване на разходите на автоматизираното производство. Той също така покрива всички сценарии на PECVD свързване: стъпката между пиновете 3,5 мм е подходяща за сигнални проводници 0,2-1,5 мм², докато стъпката между пиновете 5,0/7,5 мм поддържа 16A захранващи линии. Поддържа методи за монтаж „wire-to-board“ и през стена, съвместим е с окабеляване в контролен шкаф и кухини и отговаря на стандартите за електрическа безопасност GB/T 5226.1, изграждайки солидна защита за стабилност на процеса.
В полупроводниковата индустрия, където прецизността на процесите на нанометрово ниво е от първостепенно значение, надеждните връзки са гаранция за висок добив.WAGOpicoMAX®, със своята революционна концепция за продуктов дизайн, постига „малък размер, висока производителност“ в компактен размер, осигурявайки стабилни, ефективни и дълготрайни решения за свързване за PECVD оборудване. Това помага на производителите на полупроводници да преодолеят предизвикателствата на прецизните технологични връзки, като запазва прецизността на всеки чип до микрометър.
Време на публикуване: 13 март 2026 г.